10月15日消息，據(jù)國外媒體報道，已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機的阿斯麥，正在研發(fā)第三款，計劃在明年年中開始出貨。
阿斯麥極紫外光刻機
阿斯麥是在三季度的財報中，披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機將在明年年中開始出貨的，型號為TWINSCAN NXE:3600D。
在財報中，阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格，其生產(chǎn)效率將提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時可處理160片晶圓。
值得注意的是，在2019年的年報中，阿斯麥就曾披露他們在研發(fā)新一代的極紫外光刻機，但當時他們是計劃在2022年年初開始出貨，2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財報中披露在明年年中開始出貨，也就意味著出貨時間較原計劃提前了半年。
極紫外光刻機是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設備，目前全球只有阿斯麥能供應。臺積電、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm，他們所需要的極紫外光刻機也全部仰仗于阿斯麥，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺，預計也會交由這兩家代工商中的一家。
阿斯麥目前在售的兩款極紫外光刻機分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，采用的都是波長為13.5nm的極紫外光源，30mJ/cm2的曝光速度下，前者每小時可處理125片晶圓，后者則可達到170片。
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