9月28日消息,據(jù)英文媒體報道,在8月份的全球技術(shù)論壇期間,臺積電曾透露全球目前在運行的極紫外光刻機中,他們約有一半,產(chǎn)能則是預(yù)計占全球的60%。
臺積電是從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機的,7nm之后的工藝,就將全部采用極紫外光刻機,隨著5nm工藝的大規(guī)模投產(chǎn),6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開始籌備量產(chǎn),他們對極紫外光刻機的需求也越來越大。
而消息人士透露,臺積電正在加快研發(fā)極紫外光刻工藝,他們預(yù)計到明年年底,極紫外光刻機的累計采購量將達到約55臺。
阿斯麥是目前全球唯一能制造極紫外光刻機的廠商,臺積電所需要的極紫外光刻機,也就全部來自于阿斯麥。
阿斯麥極紫外光刻機
目前還不清楚臺積電已經(jīng)向阿斯麥采購了多少臺極紫外光刻機,但從阿斯麥的年報來看,他們從2012年就已開始交付極紫外光刻機,到今年二季度結(jié)束時,他們已累計向用戶交付76臺極紫外光刻機,按50%的比例計算,臺積電目前擁有的極紫外光刻機,就是在38臺左右。
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