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    阿斯麥正研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī) 計(jì)劃2022年年初開始出貨

    3月16日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,在推出兩代極紫外光刻機(jī)之后,阿斯麥公司又已在研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī),計(jì)劃2022年年初開始出貨。

    阿斯麥?zhǔn)窃?019年的年報(bào)中,披露他們正在研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī)的,計(jì)劃在2022年年初開始出貨,2024/2025年大規(guī)模生產(chǎn)。

    在年報(bào)中,阿斯麥還披露,他們正在研發(fā)的下一代極紫外光刻機(jī),將采用 High-NA技術(shù),有更高的數(shù)值孔徑,分辨率和覆蓋能力較他們當(dāng)前的極紫外光刻機(jī)將提高70%。

    光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)中非常關(guān)鍵的設(shè)備,在工藝提升到7nm EUV、5nm之后,已只有極紫外光刻機(jī)能滿足要求,阿斯麥則是目前唯一能制造極紫外光刻機(jī)的廠商。

    阿斯麥所生產(chǎn)的極紫外光刻機(jī),光源的波長(zhǎng)縮短到了13.5nm,而極紫外光刻機(jī)之前最先進(jìn)的深紫外光刻機(jī),使用的則是波長(zhǎng)為193nm的光源。

    作為目前全球唯一有能力制造極紫外光刻機(jī)的廠商,阿斯麥已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機(jī),分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C,可用于生產(chǎn)7nm和5nm的芯片,后者是最新推出的,去年共交付了9臺(tái)。

    阿斯麥的年報(bào)顯示,他們?nèi)ツ旯蚕蚩蛻艚桓读?6臺(tái)極紫外光刻機(jī),較2018年的18臺(tái)增加了8臺(tái),帶來了27.997億歐元(折合約31.43億美元)的營(yíng)收。

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    2020-03-16
    阿斯麥正研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī) 計(jì)劃2022年年初開始出貨
    光刻機(jī)廠商阿斯麥在2019年的年報(bào)中,披露他們正在研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī),計(jì)劃在2022年年初開始出貨,2024/2025年大規(guī)模生產(chǎn)。

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