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    格創(chuàng)東智賦能頭部硅片廠實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)質(zhì)檢全流程自動(dòng)化升級(jí)

    國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體材料廠,專注于半導(dǎo)體硅片及其延伸產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)和制造,堅(jiān)持以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展,為全球客戶提供全產(chǎn)品解決方案。

    眾所周知,硅片是生產(chǎn)集成電路、分立器件、傳感器等半導(dǎo)體產(chǎn)品的關(guān)鍵材料,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)性的一環(huán)。但在硅片生產(chǎn)過(guò)程中,伴隨復(fù)雜工藝流程產(chǎn)生的缺陷種類多且復(fù)雜,多數(shù)工廠采用人工目檢方式進(jìn)行外觀檢測(cè),而人工目檢會(huì)隨著產(chǎn)能的提升和工藝能力要求的提高產(chǎn)生諸多弊端:

    判定標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一,檢測(cè)效率低下

    質(zhì)檢人員流動(dòng)性大,培訓(xùn)周期長(zhǎng)

    無(wú)留檔記錄,無(wú)法追溯歷史數(shù)據(jù)

    缺陷種類多,無(wú)法量化缺陷統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

    無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)控和反饋數(shù)據(jù),缺少工藝異常鎖定功能

    格創(chuàng)東智結(jié)合硅片材料廠生產(chǎn)工藝以及產(chǎn)品特點(diǎn),推出了ALIOTH系列的S800P產(chǎn)品,該產(chǎn)品專門針對(duì)硅片在酸腐、多晶、背封、去邊等不同工藝過(guò)程中的各類缺陷進(jìn)行自動(dòng)化檢測(cè)、分類、統(tǒng)計(jì);通過(guò)CV+AI復(fù)合算法,極大提升缺陷檢出的準(zhǔn)確率,改善硅片在生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量控制,同時(shí)協(xié)助工廠實(shí)現(xiàn)降本增效。

    1)產(chǎn)品外觀缺陷檢測(cè):通過(guò)機(jī)器視覺獲取產(chǎn)品表面特征圖像,對(duì)圖像中的缺陷進(jìn)行精準(zhǔn)定位抓取,并進(jìn)行精準(zhǔn)識(shí)別與分類;

    2)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析:分析產(chǎn)品缺陷分類占比,準(zhǔn)確定位缺陷位置信息,有效識(shí)別生產(chǎn)工藝改善方向;批量統(tǒng)計(jì)分析缺陷變化規(guī)律,定位缺陷產(chǎn)生原因及工藝,實(shí)時(shí)檢測(cè)設(shè)備及工藝性能波動(dòng)情況;結(jié)合生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的缺陷數(shù)據(jù)和趨勢(shì)信息,對(duì)改善制造工藝、優(yōu)化生產(chǎn)流程進(jìn)行缺陷根因分析;

    3)自適應(yīng)缺陷識(shí)別:通過(guò)自適應(yīng)成像配置調(diào)節(jié)及多種成像方式,結(jié)合無(wú)監(jiān)督遷移學(xué)習(xí)的人工智能算法,對(duì)新形態(tài)缺陷不論大小以及形態(tài)均實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)缺陷檢出。并配合自動(dòng)化質(zhì)量監(jiān)控對(duì)設(shè)備問(wèn)題進(jìn)行報(bào)警。

    該企業(yè)結(jié)合客戶質(zhì)量控制需求,通過(guò)ALIOTH-S800P AOI外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備,替代傳統(tǒng)人工目檢,在硅片生產(chǎn)工藝過(guò)程中進(jìn)行外觀檢測(cè),實(shí)現(xiàn)了缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)、分類、統(tǒng)計(jì)以及等級(jí)劃分,極大地提升了檢測(cè)效率及準(zhǔn)確率。

    1、人力投入降低80%

    通過(guò)自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備替代原有人工目檢,10秒檢測(cè)一塊硅片,檢測(cè)效率大幅提升,滿足高產(chǎn)能生產(chǎn)需求;1個(gè)人可以同時(shí)維護(hù)多臺(tái)設(shè)備,大幅降低了人力投入,同時(shí)縮短了人工培訓(xùn)周期。

    2、缺陷檢測(cè)準(zhǔn)確率高達(dá)99%

    通過(guò)自適應(yīng)高分辨率成像穩(wěn)定獲取產(chǎn)品圖像特征,并結(jié)合機(jī)器視覺建立統(tǒng)一的缺陷檢測(cè)規(guī)范,有效提升了產(chǎn)品缺陷檢測(cè)的穩(wěn)定性以及準(zhǔn)確性。

    3、出貨良率提升20%

    在進(jìn)行缺陷檢測(cè)的同時(shí),進(jìn)行大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析,有效識(shí)別前段工藝生產(chǎn)問(wèn)題及改善方向,進(jìn)而促進(jìn)生產(chǎn)工藝優(yōu)化,結(jié)合精準(zhǔn)的產(chǎn)品等級(jí)劃分,促使產(chǎn)品出貨良率提升。

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