10月27日,第十二屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(CHInano2021)在江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)國際博覽中心正式開幕。本屆納博會集“會、展、賽、獎、發(fā)布”于一體,聚焦納米新材料、微納米制造、第三代半導體等納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)化前沿與熱點,打造全方位展覽展示平臺,推進納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)高端交流、合作對接與創(chuàng)新發(fā)展。西人馬公司攜帶多款MEMS芯片和傳感器產(chǎn)品亮相第十二屆納博會,全方位展示了西人馬的MEMS產(chǎn)品線和技術(shù)研發(fā)實力。西人馬公司的展臺位于B館T27展位。
在開幕當天的頒獎儀式上,西人馬公司很榮幸地獲得了大會組委會頒發(fā)的“2020年中國半導體MEMS十強企業(yè)”獎項。每年出爐的“中國半導體MEMS十強企業(yè)”評選是對國內(nèi)MEMS企業(yè)的一次大檢閱,該獎項證明了國內(nèi)近期MEMS領(lǐng)域頭部企業(yè)的實力和價值,堪稱是MEMS企業(yè)獎項中的“奧斯卡獎”。
△Averie博士(左起第四人)代表西人馬領(lǐng)獎
這是西人馬公司首次獲得這項殊榮,也是對西人馬公司多年來深耕MEMS傳感器領(lǐng)域所取得的成績的最好肯定和贊譽。西人馬公司將會再接再厲,繼續(xù)推進中國MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展和進步。
本屆納博會由科技部、中國科學院指導,中國微米納米技術(shù)學會、中國國際科學技術(shù)合作協(xié)會主辦,是國內(nèi)規(guī)模最大的納米技術(shù)交流盛會,納博會所在的蘇州國際博覽中心展區(qū)面積達1.8萬平方米,吸引了1600多家科技企業(yè)、科研機構(gòu)、行業(yè)協(xié)會到場。展會為期3天,其間將發(fā)布10場專業(yè)報告、258場行業(yè)報告。
西人馬公司十分重視參加本屆蘇州納博會的活動,為此打造了一個面積為36平方米的展臺,全方位展出了西人馬公司的芯片和傳感器產(chǎn)品,并向參展嘉賓和客戶詳細介紹了西人馬公司。
△西人馬展臺聚集著很多前來咨詢參觀的客戶
西人馬具備深厚的科研實力
西人馬公司擁有近千名員工,科研人員占比超過60%,其中95%以上為碩博士學歷。公司擁有500多項專利,并以每年30%以上的速度遞增,此外還有近300套工作說明及標準作業(yè)指引。西人馬遵循目前國際最高標準《航空AS9100D》和《醫(yī)療ISO13485》,具有ISO/IEC17025資質(zhì)的實驗室并取得CNAS認證。西人馬公司的全部校準人員都經(jīng)過ISO17025培訓并取得資質(zhì)。
△西人馬通過的國際標準認證
西人馬公司一直致力于先進MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,包括各類先進的MEMS芯片、功能材料芯片及傳感器的封裝與測試設(shè)備,客戶主要集中在能源、民用航空、軌道交通、精密儀器、工業(yè)自動化、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域,同時為全球客戶提供MEMS芯片的OEM和ODM服務(wù)。
經(jīng)過多年的發(fā)展,西人馬已經(jīng)成為業(yè)內(nèi)知名的IDM芯片公司以及“端-邊-云”一體化解決方案服務(wù)商,具備芯片和傳感器材料合成、設(shè)計、制造、封裝和測試全方位能力。
在芯片方面,西人馬開發(fā)了壓力系列、紅外系列、陀螺儀系列以及電荷放大器系列的芯片。其中的壓力芯片、紅外熱電堆芯片的高靈敏度、快速響應(yīng)和測量范圍寬的優(yōu)秀品質(zhì)在業(yè)界備受好評。
△西人馬展出的紅外熱電堆芯片
西人馬的傳感器產(chǎn)品包括加速度、壓力、位移、滑油品質(zhì)和陀螺等類型。其中壓電式加速度傳感器AYDV/AYDC等系列目前在飛機發(fā)動機、風力發(fā)電機組、智慧鋼廠等行業(yè)的振動監(jiān)測系統(tǒng)中應(yīng)用較多。該系列傳感器有優(yōu)異的頻響特性和極佳的信噪比,并且體積小、重量輕、溫漂低,可以應(yīng)用于高端軸承、機翼、旋翼的監(jiān)測,可大大減少對被測系統(tǒng)的影響。
西人馬的邊緣計算通過自主設(shè)計的軟硬件平臺,以強大的數(shù)據(jù)采集能力和AI算法能力為依托來實現(xiàn),可以滿足不同行業(yè)或應(yīng)用場景下的自檢、故障偵測、隔離、以及恢復(fù)機制等需求。
塔斯云是西人馬結(jié)合機器神經(jīng)系統(tǒng)搭建的現(xiàn)代化數(shù)據(jù)密集型應(yīng)用平臺,以數(shù)據(jù)融合為基礎(chǔ),支持多種算法,可提供基于云計算、人工智能、運算一體化、全量數(shù)據(jù)安全的一站式自助敏捷開發(fā)服務(wù),完美適用沖擊脈沖分析、能量譜分析、人臉識別、行為分析、故障檢測等多種場景。
△西人馬塔斯云平臺界面
西人馬公司具備硅基芯片及非硅基芯片設(shè)計、制造、封裝和測試全方位能力,基于這些先進的核心技術(shù),西人馬既可以單獨給客戶提供高品質(zhì)的芯片產(chǎn)品,也可以提供相應(yīng)的模組和解決方案,利用西人馬先進的傳感器、邊緣計算產(chǎn)品和云工具開發(fā)套件幫助客戶快速地搭建起具有監(jiān)測與控制功能的AIoT系統(tǒng)。
先進的MEMS制程工藝和質(zhì)量管控
西人馬公司在納博會上展出了MCU芯片、AI SoC芯片、壓力芯片、加速度傳感器、壓力傳感器、滑油品質(zhì)傳感器、光學/紅外傳感器。其中,以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)開發(fā)的各類傳感器是西人馬公司重點展示和推廣的產(chǎn)品。
△西人馬展出的壓阻式壓力傳感器
西人馬公司MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線車間,配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和MEMS器件加工平臺,擁有6000平方米的高等級潔凈車間,具備深硅刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進的制造、封裝與檢測設(shè)備,具備一體化的量產(chǎn)能力。
例如在MEMS芯片制程過程中,西人馬公司采用專業(yè)的刻蝕機,使用電感耦合等離子體(ICP)來實現(xiàn)刻蝕,鈍化沉積和刻蝕交替進行,快速形成一個垂直的側(cè)壁,具有高選擇比和高刻蝕速率的優(yōu)點。
△西人馬先進的刻蝕機
另外,西人馬的光刻技術(shù)也處于比較先進的水平。西人馬公司引進了ASML光刻機以及日本的自動涂膠機和顯影機。光刻機是將涂完膠的晶圓通過曝光將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移到Wafer表面。最后經(jīng)過顯影,在Wafer表面形成最后的圖形。而自動涂膠機的作用是將光刻膠均勻涂到晶圓表面上,以方便后面的曝光顯影。
西人馬公司利用掃描電子顯微鏡(SEM)對MEMS器件關(guān)鍵工藝的微觀形態(tài)進行測試、分析,實現(xiàn)SEM對MEMS的有效測量和工藝驗證。而原子力顯微鏡(AFM)是利用微懸臂系統(tǒng)和放大臂上面的細小探針與被測物體之間的原子相互作用來進行檢測,它的分辨率可以達到原子級別。
西人馬公司十分重視對質(zhì)量品質(zhì)的管控。以MEMS壓阻式壓力傳感器為例,通過高精度壓力源,再通過高精度的直流電源,可以測量到在不同的壓力源下產(chǎn)品的各種特性,包括傳感器的靈敏度、零位輸出、滿量程輸出。另外,還可以計算出傳感器的線性、遲滯、重復(fù)性,最后可以得到傳感器的綜合精度。目前西人馬壓力傳感器的綜合精度可以達到±0.05%,已經(jīng)達到國際水準。
如果您想進一步了解西人馬公司或?qū)ふ液献魃虣C,歡迎在10月27-29日蒞臨蘇州國際博覽中心B館T27展位,西人馬期待您的光臨。
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