據(jù)外媒報(bào)道,臺(tái)積電在最近舉行的年度技術(shù)研討會(huì)上透露了大量有關(guān)該公司的信息,尤其是有關(guān)其芯片制造業(yè)務(wù)未來(lái)的信息。這些信息包括有關(guān)N5、N4、N3和N12e等先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的新細(xì)節(jié),這些節(jié)點(diǎn)將在未來(lái)幾年為許多設(shè)備提供動(dòng)力。不過(guò),臺(tái)積電也透露了自己在尖端制造實(shí)力中的地位。
根據(jù)Ian Cutress博士的報(bào)告,臺(tái)積電目前占到行業(yè)EUV(極紫外光)設(shè)備安裝數(shù)量的50%。此外,臺(tái)積電還宣稱其EUV晶圓產(chǎn)量占整個(gè)行業(yè)累計(jì)產(chǎn)量的60%。
臺(tái)積電的N7+工藝是該公司第一個(gè)使用EUV光刻技術(shù)的節(jié)點(diǎn),而該公司的N5工藝將進(jìn)一步利用EUV技術(shù)。此外,任何超5nm的器件都將廣泛依賴EUV光刻技術(shù)。目前,除了臺(tái)積電的N7+和N5,三星也有其7LPP工藝并有望利用EUVL。
ASML是唯一一家生產(chǎn)和銷售EUV光刻設(shè)備的公司,據(jù)Cutress估計(jì),臺(tái)積電已經(jīng)從這家公司手中購(gòu)買了30-35臺(tái)設(shè)備。據(jù)估計(jì),ASML今年已售出約70臺(tái)機(jī)器,等到底可能會(huì)達(dá)到90臺(tái)。
最近,臺(tái)積電慶祝了10億多塊無(wú)缺陷7nm芯片的出貨。
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